等离子体清洗是光刻胶去除过程中常用的方法，PE 附着力 检测在等离子体反应体系中通过少量氧气，在强电场的作用下，使等离子体中的氧气，迅速使光刻胶氧化成挥发性气态物质被去除。这种清洗技能在脱胶过程中具有操作方便、效率高、外观干净、无划痕、保证产品质量，且不需要酸、碱和有机溶剂等优点，所以越来越受到人们
